Skip to product information
1 of 4

Юрий Родионов: Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем

Юрий Родионов: Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем

Regular price $49.00 USD
Regular price Sale price $49.00 USD
Sale Sold out
Shipping calculated at checkout.
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
  • Страницы: 220
  • Бумага: Офсет
  • Издательство: Лань
  • ISBN: 978-5-507-46956-7
  • Год издания: 2021
  • Автор: Юрий Анатольевич Родионов
  • Серия: Высшее образование. Лань
  • Обложка: Твёрдый переплёт
  • Иллюстрации: Черно-белые
  • Оформление: Черно-белые
  • Вес: 0.9 lb
View full details
Книга «Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем» доступна для покупки в нашем интернет-магазине «Книжка US» по выгодной цене. Мы предлагаем доставку из России в США с использованием службы USPS, что занимает от 2-х недель до 30 дней. Каждый заказ сопровождается трек-номером для удобного отслеживания. Закажите книгу Юрий Анатольевич Родионов «Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем» из серии Высшее образование. Лань и получите её прямо на ваш адрес. Мы гордимся тем, что являемся крупнейшим магазином русских книг в США, и всегда стремимся предложить нашим клиентам лучший сервис и широкий ассортимент. Следите за нашими акциями и специальными предложениями, чтобы сделать свои покупки ещё выгоднее.