В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки.
.Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологий в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля.
.
Страницы: 511
Бумага: Офсет
Издательство: Наука
ISBN: 978-5-02-040201-0
Год издания: 2019
Редактор: Агеев Олег Алексеевич, Коноплев Борис Георгиевич
Книга «Нанотехнологии в микроэлектронике» доступна для покупки в нашем интернет-магазине «Книжка US» по
выгодной цене.
Мы предлагаем доставку из России в США с использованием службы USPS, что занимает от 2-х недель до 30 дней.
Каждый заказ сопровождается трек-номером для удобного отслеживания.
Закажите книгу «Нанотехнологии в микроэлектронике»
и получите её прямо на ваш адрес.
Мы гордимся тем, что являемся крупнейшим магазином русских книг в США, и всегда стремимся предложить нашим клиентам
лучший сервис и широкий ассортимент. Следите за нашими акциями и специальными предложениями, чтобы сделать свои
покупки ещё выгоднее.
Choosing a selection results in a full page refresh.