Юрий Кернасовский: Основы конструирования МЭМС-датчиков

Посвящена развитию, проектированию и технологиям изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС), включая устройства космического назначения. Рассматриваются конструкции и принципы работы датчиков теплового потока, тепловых акселерометров и инфракрасных датчиков на основе термоэлектрического эффекта, а также их области применения и способы повышения технических характеристик. Значительное внимание уделено численному моделированию, снижению шумов, выбору материалов и конструктивно-технологическим решениям. Отдельные главы описывают микрообработку кремниевых и полимерных структур, фотолитографию, травление, осаждение материалов, соединение пластин и технологии 3D-МЭМС. Завершается работа анализом корпусов для микроэлектронных изделий и требований к корпусированию МЭМС-устройств. Для специалистов в области МЭМС. Будет полезно студентам, аспирантам и преподавателям технических вузов, специализирующихся в области микросистемной техники и ее многочисленных приложений.