Николай Шелепин: Технологии КМОП интегральных схем. Часть 1. От возникновения до нанометровых размеров элементов

Книга предназначена для студентов старших курсов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники. Издание также представляет интерес и будет весьма полезно для научных работников, инженеров и руководителей разного уровня, занятых в области разработки, производства и применения интегральных микросхем. В книге описаны технологические маршруты, то есть последовательность технологических операций, которые применялись и применяются в процессе обработки кремниевых пластин при производстве КМОП ИС от периода становления технологии до реализации глубокосубмикронных и нанометровых транзисторов. Особое внимание уделено развитию конструктивно-технологических методов формирования транзисторных структур, которые разрабатывались в процессе масштабирования технологии и обеспечили её развитие до нанометровых размеров элементов. В связи с этим книга также может представлять интерес как справочник, в котором можно оперативно найти информацию, связанную с особенностями технологий изготовления КМОП сбис различных технологических уровней.