{"product_id":"yurii-tsvetkov-protsessi-i-oborudovanie-mikrotekhnologii-moduli-1-i-2-uchebnoe-posobie","title":"Юрий Цветков: Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2","description":"Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. \r.Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».","brand":"МГТУ им. Н.Э. Баумана","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":49339443773756,"sku":"fz6cyw7ycyzbf50vyzmjuuzo","price":32.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0766\/3468\/5756\/files\/tsvetkov_protsessi_i_oborudovanie._mikrotekhnologii._moduli_1_i_2._uchebnoe_posobie_1.jpg?v=1711012689","url":"https:\/\/knizhka.us\/products\/yurii-tsvetkov-protsessi-i-oborudovanie-mikrotekhnologii-moduli-1-i-2-uchebnoe-posobie","provider":"Книжка US","version":"1.0","type":"link"}