{"product_id":"yurii-rodionov-khimicheskie-tekhnologii-v-proizvodstve-mikroelektromekhanicheskikh-sistem-uchebnoe-posobie","title":"Юрий Родионов: Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем","description":"Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.\r\nУчебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».","brand":"Лань","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":50352009937212,"sku":"slzal0ihd7qirpfdtd2wzsv8","price":49.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0766\/3468\/5756\/files\/yurii_rodionov_khimicheskie_tekhnologii_v_proizvodstve_mikroelektromekhanicheskikh_sistem._uchebnoe_posobie_1.jpg?v=1731438777","url":"https:\/\/knizhka.us\/products\/yurii-rodionov-khimicheskie-tekhnologii-v-proizvodstve-mikroelektromekhanicheskikh-sistem-uchebnoe-posobie","provider":"Книжка US","version":"1.0","type":"link"}