{"product_id":"nanotekhnologii-v-mikroelektronike","title":"Нанотехнологии в микроэлектронике","description":"В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки. \r.Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологий в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля.\r.","brand":"Наука","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":51893475148092,"sku":"rc01fc2zy2pkgruaffi5qcgr","price":45.0,"currency_code":"USD","in_stock":false}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0766\/3468\/5756\/files\/nanotekhnologii_v_mikroelektronike_1.jpg?v=1752174662","url":"https:\/\/knizhka.us\/products\/nanotekhnologii-v-mikroelektronike","provider":"Книжка US","version":"1.0","type":"link"}