{"product_id":"andrei-altukhov-almazi-v-mikroelektronike-ot-issledovanii-k-razrabotkam","title":"Андрей Алтухов: Алмазы в микроэлектронике: от исследований к разработкам","description":"В монографии автором изложены оригинальные методология и методы исследований алмазов, в частности для исследований использовались современные методы и оборудование, в т. ч. системы электрофизического контроля полупроводниковых структур, контактные и бесконтактные системы профилометрии, установки спектрофотометрического анализа в ИК, видимом и УФ диапазонах; методы и оборудование люминесцентного и поляризационного контроля, электронная микроскопия, методы спектральной и топографической катодолюминесценции, методы электронно-ионного элементного и структурного анализа, рентгено-структурные и рентгено-спектральные методы.\n\nОписана последовательность операций при изготовлении приборов на алмазах. Прежде всего для изготовления образцов устройств и их элементов использовались методы и оборудование вакуумного нанесения проводящих, полупроводниковых и вспомогательных слоев, включая магнетронное, электронно-лучевое, молекулярно-лучевое осаждение, CVD- и HPHT-технологии синтеза алмаза, технология ионной имплантации, лазерные, ионно-плазменные и ионно-лучевые технологии обработки и травления.\n\nОбзор представляет интерес для ученых, инженеров и преподавателей высшей школы, аспирантов и магистров, студентов и бакалавров, специализирующихся в области радиоэлектроники и микросистемной техники.","brand":"Техносфера","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":51787464606012,"sku":"wyh5ylk1o1x6pisjbaqfar1f","price":63.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0766\/3468\/5756\/files\/andrei_altukhov_almazi_v_mikroelektronike_ot_issledovanii_k_razrabotkam_1.jpg?v=1749279757","url":"https:\/\/knizhka.us\/products\/andrei-altukhov-almazi-v-mikroelektronike-ot-issledovanii-k-razrabotkam","provider":"Книжка US","version":"1.0","type":"link"}