{"product_id":"юрий-кернасовский-основы-конструирования-мэмс-датчиков","title":"Юрий Кернасовский: Основы конструирования МЭМС-датчиков","description":"Посвящена развитию, проектированию и технологиям изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС), включая устройства космического назначения. Рассматриваются конструкции и принципы работы датчиков теплового потока, тепловых акселерометров и инфракрасных датчиков на основе термоэлектрического эффекта, а также их области применения и способы повышения технических характеристик. Значительное внимание уделено численному моделированию, снижению шумов, выбору материалов и конструктивно-технологическим решениям. Отдельные главы описывают микрообработку кремниевых и полимерных структур, фотолитографию, травление, осаждение материалов, соединение пластин и технологии 3D-МЭМС. Завершается работа анализом корпусов для микроэлектронных изделий и требований к корпусированию МЭМС-устройств. Для специалистов в области МЭМС. Будет полезно студентам, аспирантам и преподавателям технических вузов, специализирующихся в области микросистемной техники и ее многочисленных приложений.","brand":"Инфра-Инженерия","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68015401075004,"sku":"k4nsf3me0kbnwp795ywv6r3v","price":105.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0766\/3468\/5756\/files\/9785972933792-1.jpg?v=1793478877","url":"https:\/\/knizhka.us\/products\/%d1%8e%d1%80%d0%b8%d0%b9-%d0%ba%d0%b5%d1%80%d0%bd%d0%b0%d1%81%d0%be%d0%b2%d1%81%d0%ba%d0%b8%d0%b9-%d0%be%d1%81%d0%bd%d0%be%d0%b2%d1%8b-%d0%ba%d0%be%d0%bd%d1%81%d1%82%d1%80%d1%83%d0%b8%d1%80%d0%be%d0%b2%d0%b0%d0%bd%d0%b8%d1%8f-%d0%bc%d1%8d%d0%bc%d1%81-%d0%b4%d0%b0%d1%82%d1%87%d0%b8%d0%ba%d0%be%d0%b2","provider":"Книжка US","version":"1.0","type":"link"}